光譜儀又稱分光儀，廣泛為認知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上（或掃描某一波段）進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。

1、啟動直讀光譜儀的電源開關，直讀光譜儀應該保持24h都通電。
2、直讀光譜儀啟動真空泵，（注：真空泵閥門不要急于打開，等工作幾小時后，才能打開真空泵閥門）。
3、直讀光譜儀加光電倍增管高壓（將HV開關ON/OFF撥到ON狀態，HV指示燈亮表示光電倍增管的高壓已經加上）。
4、接通氬氣（直讀光譜儀對氬氣的要求：氬氣的純度99.99%，含氧量為0.0005%，露點為-60攝氏度。如果每天工作＞24h，用液態氬，＜24h建議使用高純氬氣，送到光譜儀的壓力0.5-1.5開關，使用氬氣凈化機，保持氬氣的純度和壓力恒定，從而得到理想的分析結果。
5、清理樣品架，清理入射窗口，啟動計算機系統。
6、分析樣品的取樣和制樣（樣品的處理，不同的材質應當采用不同的方法，黑色金屬及合金、鑄鐵、球鐵經過白口化處理其表面的氧化皮。中低合金鋼、高合金鋼及不銹鋼等樣品處理方法是用砂輪來磨出一個光潔有紋路的平面）。