晶體硅研磨水回用處理設(shè)備

在晶體硅研磨、切片過程中需要用水進(jìn)行清洗或冷卻、潤滑，這樣會產(chǎn)生大量的廢水。

這種廢水中除了硅粉之外，其他的雜質(zhì)的水質(zhì)指標(biāo)均與所使用的原水水質(zhì)相接近。水中含有了大量的硅粉，以及少量的碳化硅顆粒和聚乙二醇。硅粉基本上是直徑為 0.5～1μｍ的微細(xì)顆粒。這種廢水直接排放，不但水中的懸浮物超標(biāo)準(zhǔn)，而且浪費(fèi)大量水資源。因此，這種廢水只要能夠除去其中的硅粉顆粒，完全具有回收使用的價值，水可以回到生產(chǎn)線循環(huán)使用，硅粉也可以回收再利用。晶體硅研磨水回用處理設(shè)備

目前，常規(guī)的處理方法無法實(shí)現(xiàn)回收價值，并且存在以下問題：

l  直接排放：懸浮物不能達(dá)排放標(biāo)準(zhǔn)，且無法實(shí)現(xiàn)水和硅粉的回收利用，造成雙重浪費(fèi)；

l  化學(xué)沉淀處理：研磨廢水中因顆粒極小，即便添加混凝劑和助凝劑仍無法獲得很好的沉淀效果，處理效果差，效率極低；

l  濾芯過濾或袋濾的簡單過濾處理：濾芯或?yàn)V袋因其孔徑局限導(dǎo)致截留效果差，且通量小、易堵塞；

l  中空纖維膜回收處理：效果好但易污堵，清洗后通量難恢復(fù)，膜絲易斷。

硅片生產(chǎn)中產(chǎn)生的研磨清洗廢水收集到廢水均質(zhì)槽內(nèi)，穩(wěn)定水質(zhì)和水量。然后用泵輸送到廢水濃縮槽，再由循環(huán)泵輸送到管式微濾膜進(jìn)行處理。廢水在濃縮槽和管式微濾膜之間進(jìn)行大流量的循環(huán)，這一過程中水透過膜連續(xù)送往產(chǎn)水槽進(jìn)行回收利用。微濾膜截留的懸浮物（硅粉）被帶回廢水濃縮槽內(nèi)不斷富集，積聚到一定濃度后送到壓濾機(jī)進(jìn)行脫水處理，脫水后硅粉形成泥餅外運(yùn)回收，脫離水則回到廢水濃縮槽進(jìn)一步處理。

針對以上情況，采用管式微濾膜（TMF）技術(shù)對晶體硅切片研磨清洗廢水進(jìn)行回用性處理:整個處理過程中不添加任何化學(xué)藥劑。

三、工藝的技術(shù)優(yōu)勢：

1.   采用管式微孔過濾膜替代傳統(tǒng)的重力沉淀，實(shí)現(xiàn)硅粉顆粒和水的高效分離。

2.   分離后的水回用至生產(chǎn)前端，硅粉也可以回收利用。

3.   回收率接近100%（僅極少量濃縮液需定期排放）。

4.   無需投加混凝劑和絮凝劑，不產(chǎn)生廢水排放。

5.   系統(tǒng)占地面積小，自動化水平高，運(yùn)行操作簡便。

6.   采用管式大流量錯流過濾，水流切向高速流過膜表面，在過濾的同時還有沖刷清潔膜表面的作用，污染物不易累積，膜面不易污染。

7.   采用燒結(jié)法成膜技術(shù)，膜管堅固耐用，杜絕了斷絲泄漏現(xiàn)象的發(fā)生。

8.   0.05um的絕對過濾孔徑，產(chǎn)水濁度<1NTU，可以有效的保護(hù)反滲透。

9.   管式微濾膜專門針對廢水處理設(shè)計，具有出色的耐化學(xué)性和耐磨擦性